• 从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法
  • 发布时间:2019-08-13 18:29 | 作者:admin | 来源:网络整理 | 浏览:
  • 专利权著名的

    :从硅片切B废品浆中回收多晶体硅


    技术版图

    本创造触及一种多晶体硅的回收办法。,极小的触及ー种从硅片切B废品浆中回收多晶体硅。


    配乐技术

    眼前硅片刻次要采取金刚砂粉、刻锡。,是人在的专利权证件,堆积起来办法回收的硅基面都很难清偿过的命令。。次要成绩是金刚砂粉、切削液和金属丝引入的杂质难以去除。,主要地极少量的超细金刚砂粉末不克不及。跟随坚硬无比的线锯制剂技术的开展,坚硬无比的线锯逐步被用来刻四四方方地刻的硅片。,眼前,必然的日本反对改革的保守当权派先前将这种技术用于Cutti。,奇纳河也有很多反对改革的保守当权派 硅片刻试验,据估计,即将到来的将有更大生水垢的运用。但坚硬无比的线锯刻硅片发生的晃出依然在,假使这局部硅粉不克不及使翻筋斗运用,不克不及无效降低品质硅片的可变费用。终于,从废品浆中回收多晶体硅具有要紧的现实意义。。因而做研究什么从硅片切B废品浆中回收多晶体硅具有很强的急事。

    创造愿意的
    本创造要处置的技术成绩是预约高纯正的、辩证的能力亏耗的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅。处置前述的技术成绩,本创造采取的技术示意图如次:
    预约ー种包含以下走近的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅
    (o)从处置过的坚硬无比的线锯刻硅片废品浆(次要是、硅粉、水基切削液、附属企业纯水核算浆体品质百分之一浓度为10% 20%,与垂直的离心分类手段举行离心分类。,分类液的去除,压力过滤接收的硅满足 90%可靠性基面;
    (2)推理可靠性基面混合酸=I 原子炉中可靠性辩证的的品质比为2,附属企业了INORG。,将搅拌兴隆核算为5 90r/min,反映体温把持在5 70°C,反映10 12小时后脱酸,用纯水洗涤,直到中性回压过滤,获取滤饼;
    (3)取上步所获取滤饼加纯水造浆,核算晃出品质百分之一浓度至 5%,堆积起来宝石饰物是用旋风略图机分类的。,压力过滤后接收硅满足。 99%的硅料;
    (4)以2.4的使相称平坦的疏散前述的硅。 3. 重气体中5 g/cm 3后,与用使离心举行离心分类。,用纯水反复地说洗涤去除上硅中间的重质气体,压滤获取滤饼;坚硬无比的线锯刻硅片时采取的是船只冷却液,不引入无机杂质,宝石饰物的使相称很高,手脚能够到的延伸3. 5g/cm3 (硅的密度为2 34 g/cm3,碳化钙幼崽是3。 I 3. 2 g/cm3),用重水法迅速地把幼崽和宝石饰物划分。(5)对上步所获取滤饼以纯水造浆,核算晃出品质百分之一浓度至 3%后,大孔水合氢好转树脂手段去除水合氢,压滤后新的枯燥接收的纯正 99. 99%硅粉;
    (6)将上一步接收的硅粉压块,与在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,杂质的去除,纯正超越99。 99 99%硅锭。在走近(i)中,离心分类手段为地平线的旋坠使离心或SEDI。,其离心兴隆把持如次 1000r/min 1500r/min。在走近(2)中,无机酸混合酸是品质百分之一浓度。 95%硫酸盐、品质百分之一浓度(>35%)的氢氯酸、品质百分之一浓度≥60%的王水中间的反正两种。在走近(3)中,旋风略图机包含6个 8级系列节目水力气旋。在走近(4)中,重的气体是陈词滥调。、ニ碘甲烷、钨酸钠水含酒精饮料中间的反正一种晃出。在走近(5)中,水合氢好转树脂手段是一种阳水合氢好转器。、阴水合氢好转器I、阴水合氢好转器2与阴水合氢树脂好转器结成。在走近(6)中,多晶体硅锭炉体温把持140 1450°C,钢锭兴隆为3 8mm/h。本创造具有有力的无益的终结。
    1.エ艺程序复杂、回收本钱低,迅速地エ业化生产;
    2.瞬间步。回收多晶体硅纯正高,高净增值,敷用普遍地。
    极小的实行例以下联手极小的实行例进ー步论述本创造。以下实行例触及的原基面和装置,假使未极小的阐明,它们都是习俗的原基面或装置。。实行例I从硅片切B废品浆中回收多晶体硅
    (1)在吨废浆中附属企业4吨纯水,以适应品质。,与用地平线的旋坠使离心离心,板框压滤机压滤接收硅满足为90%可靠性基面400公斤;
    (2)3m3原子炉附属企业400 kg可靠性物料,添加300 kg 95%浓硫酸盐和100 kg 60%王水,核算搅拌兴隆至80r/mi,把持原子炉体温为5 70°C,反映后10小时加水脱酸,新的至中性并按filte,350公斤滤饼;
    (3)对2中所获取滤饼附属企业吨纯水造浆,可调晃出品质百分之一为5%,与大局部宝石饰物被水力气旋分类。,采取压力过滤法买到了99%满足的硅基面。300公斤;
    (4)将99%的硅疏散在500kg的陈词滥调中。,采取エ业使离心离心分类,用纯水反复地说洗涤下层硅基面,压力过滤硅基面290kg;
    (5)对4中所得硅料附属企业吨纯水造浆,可调晃出品质百分之一为3%,大孔水合氢好转树脂手段去除水合氢,压滤后新的枯燥接收99%。 99%硅粉280公斤。ICP7700S等水合氢体质量分析器的成果如次: 5PPm ; B :0. 2PPm ; Bi :0. IPPm ; Ca :25. 4PPm ;Cr :0. 3PPm ; Cu: I. I PPm ; Fe :28. 6 PPm ; K:l. 5 PPm; Na: 2. I PPm ; P:0. 3 PPm ; 铅:0。 采取IPPM0(6)等静压将硅粉禁止成块状。,与在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,钢锭炉体温把持1420度,钢锭兴隆为4 mm/h,杂质的去除,纯正为99。 99 99%硅锭。ICP7700S等水合氢体质量分析器的成果如次:A1 12PPm ; B :0. 18PPm; Bi :0. 005 PPm ;CA:0。 08PPm ; CR:0. 002PPm ; 立方:0。 IPPm ; 铁:0。 09PPm ;K:0.02 PPm ; 不适合于:0。 015 PPm ;P:0.22 PPm ; Pb :0. 002 PPm0实行例2从硅片切B废品浆中回收多晶体硅(1)在I吨废品浆附属企业9吨纯水适应料浆品质百分之一为10%,与用地平线的旋坠使离心离心,板框压滤机压滤接收硅满足为92%的可靠性物料390公斤;
    (2)3m3原子炉附属企业可靠性物料390kg。,添加200 kg 95%浓硫酸盐、100 kg 60%王水和100 kg 35%浓氢氯酸,核算搅拌兴隆至80r/mi,把持原子炉体温为5 70°C,反映后12小时加水脱酸,新的至中性并按filte,330公斤滤饼;
    (3)对2中所获取滤饼附属企业吨纯水造浆,可调晃出品质百分之一为3%,与大局部宝石饰物被水力气旋分类。,压力过滤后,满足为99 1%的硅料295公斤;
    (4)将二氧化硅疏散在500kg的钨酸钠含酒精饮料中。,重质气体的使相称为3。 2g/cm3,采取エ业使离心离心分类,用纯水反复地说洗涤下层硅基面,压力过滤买到硅280 kg;
    (5)在前述的硅基面中附属企业吨纯水。,可调晃出品质百分之一为2%,大孔水合氢好转树脂手段去除水合氢,压滤后新的枯燥接收99%。 995%硅粉275公斤。ICP7700S等水合氢体质量分析器的成果如次: 15. 6PPm ; B :0. 19PPm; Bi :0. IPPm ; Ca: 14. 2PPm ;CR:0. 25PPm ; 立方:0。 4 PPm ; 铁:13。 3 PPm ; K:l. I PPm ; 那:我。 6 PPm ; P:0.27 PPm ;Pb :0.11 PPm。(6)将前述的走近接收的硅粉压成块,与在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,钢锭炉体温把持1440度,钢锭兴隆为5 mm/h,杂质的去除,纯正为99。 99 99%硅锭。ICP7700S等水合氢体质量分析器的成果如次:A1 05PPm; B :0. 17PPm ; Bi :0. 004 PPm ;CA:0。 03PPm ; CR:0. 003PPm ; 立方:0。 02PPm; 铁:0。 05PPm ;K:0. OlPPm ; 不适合于:0。 012 PPm ;P :0.23 PPm ; Pb :0. 001 PPm。旋转前述的实行例中间的极小的限制因素,可使成形多个极小的实行例。,这些是本创造的通俗的改变延伸。,我弱在这时逐一地极小的阐明。
    正当命令
    1.一种从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,包含以下走近 (1)向待处置的坚硬无比的线锯刻硅片废品浆中附属企业纯水适应料浆品质百分之一浓度为10% 20%,与垂直的离心分类手段举行离心分类。,分类液的去除,压力过滤接收的硅满足 90%可靠性基面; (2)推理可靠性基面混合酸=I 原子炉中可靠性辩证的的品质比为2,附属企业了INORG。,将搅拌兴隆核算为5 90r/min,反映体温把持在5 70°C,反映10 12小时后脱酸,用纯水洗涤,直到中性回压过滤,获取滤饼; (3)取上步所获取滤饼加纯水造浆,核算晃出品质百分之一浓度至 5%,旋风略图法分类坚硬无比的,压力过滤后接收硅满足。 99%的硅料; (4)以2.4的使相称平坦的疏散前述的硅。 3. 重气体中5 g/cm 3后,与用使离心举行离心分类。,用纯水反复地说洗涤去除上硅中间的重质气体,压滤获取滤饼; (5 )对上步所获取滤饼以纯水造浆,核算晃出品质百分之一浓度至 3%后,大孔水合氢好转树脂手段去除水合氢,压滤后新的枯燥接收的纯正 99. 99%硅粉; (6)将上一步接收的硅粉压块,与在多晶体硅铸锭炉中浇铸铸锭。,杂质的去除,纯正为99。 99 99%硅锭。
    2.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(i)中,离心分类手段为地平线的旋坠使离心或SEDI。,其离心兴隆把持如次 1000r/min 1500r/min。
    3.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(2)中,无机酸混合酸是品质百分之一浓度。 95%硫酸盐、浓度为35%品质百分之一的氢氯酸、反正两种品质百分之一浓度为60的王水。
    4.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(3)中,旋风略图机包含6个 8级系列节目水力气旋。
    5.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(4)中,重的气体是陈词滥调。、ニ碘甲烷、钨酸钠水含酒精饮料中间的反正一种晃出。
    6.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(5)中,水合氢好转树脂手段是一种阳水合氢好转器。、阴水合氢好转器I、阴水合氢好转器2与阴水合氢树脂好转器结成。
    7.推理正当命令I所述的从硅片切B废品浆中回收多晶体硅,其特点分娩,在走近(6)中,多晶体硅锭炉体温把持140 1450°C,钢锭兴隆为3 8mm/h0
    全文摘要
    本创造触及一种多晶体硅的回收办法。。次要包含以下走近:废晃出固液分类;向可靠性中添加混合酸,反映10-12小时后脱酸,新的至中性;用纯水制浆后,大局部宝石饰物被旋风分类器分类。,采取压力过滤法买到了99%满足的硅基面。,与将其疏散在重质气体中,离心分类后用纯水反复地说洗涤;将洗涤后的料浆大孔水合氢好转树脂手段去除水合氢,枯燥剂制剂硅粉;多晶体硅铸锭炉压硅后铸锭P,杂质的去除,纯硅锭。本创造在不同习俗的多晶体硅制剂,而且,技术复杂、本钱惠而不费,迅速地工业化。
    文档编号C01B33/037GK102642837SQ201210127930
    赤身露体日2012年8月22日 适合日期:201年4月27日 在前日2012年4月27日
    创造者蒋威海, 365备用, 罗小军, 郝玉辉 适合人:河南信达新基面股份有限公司

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